半導體晶圓擴散爐 箱式氣氛爐 單溫區硅碳棒加熱

產品名稱：半導體晶圓擴散爐 箱式氣氛爐 單溫區硅碳棒加熱

一、概述

箱式爐系周期作業式，供實驗室、工礦企業、科研單位作元素分析測定和小批量生產用。

二、規格、型號

型號：BXS-5-16

有效工作尺寸：150*140*140mm（深*寬*高）

爐膛材質：高純陶瓷纖維（日企）

燒結時間：可根據產品工藝調節

使用方法：在空氣中燒結

額定功率：≈5KW（實際功率由儀表自動控制輸出）

電壓：220V

額定溫度：1650℃

三、具體安裝使用方法說明

本設備可直接放置于室內干燥，平整的地面上，要求通風排風良好。

1、烘爐

電爐在正式使用前必須烘爐，以排除爐內的水分（包含吸附水與結構水）。

烘爐以10-30℃/h升溫，直至爐溫升到1200℃，烘爐時間不得低于24—36小時。電爐停爐半年以上必須重新烘爐。

2、物料簡易燒結流程

通入電源—設定溫度曲線—放入產品—關閉爐門一啟動加熱一降溫完成工藝燒結—取料、關閉電源。

注：半導體晶圓擴散爐 箱式氣氛爐 其他型號規格可以根據用戶實際需求設計，

價格僅參考，歡迎咨詢詳談：0510-87195028 18888033558 吳經理